Hellma CaF?單晶圓形光學(xué)鏡片技術(shù)奧秘

發(fā)布時間： 2026-04-02　　點(diǎn)擊次數(shù)： 131次

Hellma CaF?單晶圓形光學(xué)鏡片技術(shù)奧秘

Hellma CaF?-Rundscheiben 是德國赫爾瑪專為深紫外光學(xué)系統(tǒng)打造的高精度氟化鈣單晶圓形鏡片，依托193nm準(zhǔn)分子激光級光學(xué)材質(zhì)、<111>定向單晶生長工藝與超精密研磨技術(shù)，具備紫外高透過、光學(xué)穩(wěn)定性強(qiáng)、應(yīng)力極低、表面均勻性優(yōu)異等核心特性，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體光刻、激光醫(yī)療、光譜分析、精密光學(xué)檢測等光學(xué)領(lǐng)域，是紫外光學(xué)元件的級產(chǎn)品。

核心技術(shù)參數(shù)

技術(shù)項(xiàng)目	參數(shù)規(guī)格
產(chǎn)品型號	CaF?-Rundscheiben
光學(xué)材質(zhì)	CaF? 193nm LD-A 單晶
晶體方向	<111>定向結(jié)晶
鏡片尺寸	Φ28.0mm × 5.0mm 平行平面
表面質(zhì)量	研磨級 Rq 2µm

核心光學(xué)技術(shù)解析

該鏡片采用<111>定向單晶生長工藝，晶格排列高度規(guī)整，內(nèi)部無雜質(zhì)、無氣泡、折射，在193nm深紫外波段保持超高透過率，滿足光刻與激光系統(tǒng)的嚴(yán)苛光學(xué)要求。LD-A高純級材質(zhì)具備優(yōu)異的激光損傷閾值，可抵御高能紫外激光長期照射，不易老化、不衰減，光學(xué)性能長期穩(wěn)定。

雙面平行平面研磨工藝確保表面粗糙度Rq 2µm，平面度與均勻性達(dá)到光學(xué)級標(biāo)準(zhǔn)，尺寸公差嚴(yán)格控制在±0.1mm，保證安裝后的光路精準(zhǔn)同軸。0.5mm防護(hù)倒角設(shè)計(jì)可有效防止邊緣崩邊、破損，提升鏡片機(jī)械強(qiáng)度與裝配安全性。

產(chǎn)品優(yōu)勢與應(yīng)用價(jià)值

Hellma CaF?紫外光學(xué)鏡片集高純度、高定向性、高精密尺寸于一體，符合半導(dǎo)體與科研級光學(xué)標(biāo)準(zhǔn)，是深紫外系統(tǒng)的核心基礎(chǔ)元件。德國原廠精密加工與全流程檢測，確保單片性能一致性與可靠性。其核心技術(shù)解決紫外光學(xué)傳輸、透射、穩(wěn)定性等關(guān)鍵難題，可顯著提升光學(xué)設(shè)備精度與使用壽命，是光刻、激光、科研儀器的關(guān)鍵光學(xué)部件。